EXM100系列台式闪测仪EXW卧式闪测仪EX系列闪测仪EXM190系列光学快速测量仪EXC拼接系列光学快速测量仪EXC 4030 拼接 光学快速测量仪大视野一键式测量仪EXP50光学轴类测量仪EXP80光学轴类测量仪光学轴类测量仪EXCELLENCE  M手动系列EXCELLENCE M手动大行程系列EXCELLENCE CNC 自动系列EXCELLENCE 3020CNC  自动测量影像仪EXCELLENCE  HG 龙门式系列EXCELLENCE  HG762 龙门自动影像仪EXCELLENCE TNC塔吊式自动影像仪二次元影像仪正置金相显微镜OP-40M研究级金相显微镜OP-50M正置金相显微镜MX-100正置金相显微镜MX-200倒置金相显微镜OPT-40M倒置金相显微镜OPT-20M半导体检查显微镜MX-3000单筒金相显微镜TJ-5000T金相显微镜超景深3D测量显微镜工具显微镜电镜能谱一体机高性价比标准版扫描电镜7000 台式扫描电子显微镜F100 热场发射扫描电子显微镜IT200 扫描电子显微镜7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜IT500HR 扫描电子显微镜7900F 热场发射扫描电子显微镜Serial Block-face SEM 3ViewD-2300/2300F 能谱仪IT500 扫描电子显微镜7200F 热场发射扫描显微镜扫描电子显微镜Z300FSC 场发射冷冻电子显微镜ARM200F原子级分辨率透射电子显微镜Z200FSC 场发射冷冻电子显微镜1400Flash 透射电子显微镜D-2300T 能谱仪05500TGP 断层扫描系统3200FS 场发射透射电子显微镜2100Plus 透射电子显微镜ARM1000 超高压透射电子显微镜F200 场发射透射电子显微镜ARM300F 透射电子显微镜透射电子显微镜台式直读光谱仪落地式直读光谱仪移动式直读光谱仪直读光谱仪SPM-9700SPM-8100FM扫描探针显微镜激光共聚焦显微镜Smartproof5共聚焦显微镜共聚焦显微镜3D显微镜Struers切割设备Struers镶样设备Struers研磨和抛光设备Struers自动清洁设备Struers制样设备Struers维氏硬度计Struers努氏硬度计Struers布氏硬度计Struers洛氏硬度计Struers硬度检测设备Optician焊接熔深检查系统Optician孔隙率测量系统Infralytic 油膜测厚仪器刀具测量系统自动端子切面分析仪一体式粗糙度轮廓仪MMD-HPG2000SV粗糙度轮廓仪MMD-HPG150粗糙度轮廓仪MMD-HPG120粗糙度轮廓仪MMD-HPG100H粗糙度轮廓仪MMD-HPG100F粗糙度轮廓仪TJ-LK-5C/6C粗糙度轮廓仪粗糙度轮廓仪螺纹测量仪粗糙度仪MMD-PG100/150PG轴承专用型轮廓仪MMD-R100系列轮廓仪MMD-R120/150轮廓仪MMD-R220/R320轮廓仪MMD-100A/100B轮廓仪MMD-120A/120B轮廓仪MMD-150A/150B轮廓仪MMD-220A/220B轮廓仪轮廓仪DTP-4000B 圆度仪DTP-4000A 圆度仪DTP-3000B 圆度仪DTP-3000A 圆度仪DTP-1000AE/1000B 圆度仪DTP-550A/550B 圆度仪DTP-7000 圆度仪DTP-6000 圆度仪DTP-5000B 圆度仪DTP-5000A 圆度仪DTP-1000CE 圆度仪DTP-1000D 圆度仪DTP-2000C 圆度仪DTP-2000D 圆度仪圆度仪CA35/65/95/125CNC系列圆柱度仪CA20/25 圆柱度仪CA30H/60H 圆柱度仪CA35/CA65 圆柱度仪CA90/CA95 圆柱度仪CA120/125 圆柱度仪圆柱度仪L-1000 手动型凸轮轴测量仪L-2000 手动型凸轮轴测量仪L-1000 全自动(CNC)凸轮轴测量仪L-2000 全自动(CNC)凸轮轴测量仪CV-500 活塞形线仪凸轮轴测量仪OLYMPUS CIX100清洁度检测系统OLYMPUS BX53M清洁度检测系统清洁度检测系统(高倍型)清洁度检测系统(低倍型)清洁度检测系统(低倍型)清洁度升级改造清洁度检测系统全自动清洁度颗粒萃取设备OPTICIAN-PA自动清洗检测制样设备半自动清洁度颗粒萃取设备OPTICIAN PU02双工位清洁度颗粒萃取设备手动清洁度颗粒萃取设备清洁度颗粒萃取设备清洁度实验室规划德国PFINDER清洗剂清洁度实验耗材机器视觉检测方案光学在线自动化检测系统在线检测系统全自动装配系统冲压检测设备非标机械设计
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3200FS 场发射透射电子显微镜

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3200FS场发射电子显微镜配备了最高加速电压为300kV的场发射电子枪(FEG)和镜筒内置式Ω型能量过滤器,能为广泛的研究领域提供各种全新的解决方案。


镜筒内置式Ω型能量过滤器(omega 过滤器)

镜筒内置式Ω型能量过滤器内置于成像透镜系统,能容易地获得能量过滤像和能量损失谱,同时还能获得与传统电子显微镜同等的放大倍率范围。此外、Ω型过滤器的电子光学系统在设计上最大程度地减少了图像畸变,出厂前还将剩余一点的畸变做了最后的修正。3200FS还采用了高灵敏度的相机系统及图像处理系统(选配件),可以构建元素面分布系统及能量损失谱系统。

新型控制系统

电子枪、电子光学系统、测角台、抽真空系统等电子显微镜基本功能的系统化,实现了高稳定、高性能的控制系统。图像画面和用户界面采用Windows ®*1,可以进行编程操作和附件的集中控制。

新型测角台

系统化的新型测角台内置压电陶瓷驱动机构,使高倍率下的样品移动更加精确。*2.

*1 : 注意事项:Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标。
*2 : 仅有压电元件包括在基本单元中,压电元件的电源为选配件。

技术参数:

物镜极靴*1

超高分辨UHR

高分辨率HR

高倾斜HT

高衬度HC

分辨率

点分辨率
晶格分辨率

0.17nm
0.1nm

0.19nm
0.1nm

0.21nm
0.1nm

0.26nm
0.14nm

能量分辨率

0.9 eV(零损失FWHM)

加速电压

300kV,200kV,100kV*2

最小步长 能量位移

100V   最大3,000V (以0.2V为步长)

电子枪

发射体

ZrO/W(100) 肖特基式

亮度

≧7×108 A/cm2 ・ sr

真空度

3×10-8Pa

探针电流

探针直径为1nm时,电流在0.5nA以上

稳定度

加速电压

2×10-6/min

物镜电流

1×10-6/min

过滤器透镜电流

1×10-6/min

物镜

焦距

2.7 mm

3.0 mm

3.5 mm

3.9 mm

球差系数

0.6 mm

1.1 mm

1.4 mm

3.2 mm

色差系数

1.5 mm

1.8 mm

2.2 mm

3.0 mm

最小焦距步长

1.0 nm

1.4 nm

1.5 nm

4.1 nm

束斑尺寸

TEM 模式

2 ~ 5 nmφ

2~5nmφ

7~30nmφ

EDS 模式

0.4~1.6nmφ

0.5~2.4nmφ

4~20nmφ

NBD 模式

0.4~1.6nmφ

0.5~2.4nmφ

-

CBD 模式

0.4~1.6nmφ

0.5 ~2.4nmφ

-

电子束衍射

衍射角(2α)

1.5 t~20 mrad

-

取出角

±10 °

-

倍率

MAG 模式

×2,500~1,500,000

×2,000~1,200,000

×1,500~1,200,000

LOW MAG 模式

×100~3,000

SA MAG 模式

×8,000~600,000

×6,000~500,000

×5,000~500,000

视野

10eV时狭缝宽度60mm(底片上)          2eV时狭缝宽度25mm(底片上)

相机长度

选区电子衍射

200~2,000 mm

250~2,500 mm

400~3,000 mm

EELS 散射

能量选择   在能量选择狭缝上

0.85 μm/eV , 300 kV

底片上

100~220 μm/eV , 300kV

样品室

样品移动范围 (XY/Z)

2mm/0.2mm

2mm/0.4mm

2mm/0.4mm

2mm/0.4mm

样品倾斜角   (X/Y)

±25°/±25°*3

±35°/±30°*3

±42°/±30°*3

±38°/±30°*3

EDS*4

固体角

0.13 sr

0.09 sr

取出角

25°

20°