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ARM200F NEOARM 原子级分辨率透射电子显微镜

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“NEOARM” 标配了日本电子独自开发的冷场发射电子枪(Cold-FEG)和全新的高阶球差校正器(ASCOR)。无论是在200kV的高加速电压还是在30kV的低加速电压下,均能实现原子级分辨率的观察与分析。同时还配备了自动像差校正系统,采用日本电子独自开发的像差校正算法,可以自动进行快速准确的像差校正。由此实现了高通量的原子级分辨率成像。此外,新型STEM检测器不依赖于加速电压就可以获得高衬度的轻元素图像。因此,利用能增强轻元素衬度的新STEM成像技术(e-ABF法)可以更加简便地观察到含有轻元素样品的高清晰(衬度)图像。为了响应近来已成为主流的远程操作的需求,NEOARM的电镜室和操作室实行了分离式,主机使用了新概念颜色—纯白色和银色,设计精炼时尚。


主要特点:

◇球差校正器ASCOR(Advanced STEM Corrector)

“NEOARM”配备的新型球差校正器ASCOR能够校正高阶像差(即6重像散,目前阻碍透射电镜分辨率进一步提高的最大障碍。),ASCOR和Cold-FEG的完美组合实现了从高加速电压到低加速电压下的高分辨率。

◇自动像差校正软件COSMO™(Corrector System Module)

COSMO™采用了全新像差校正算法,校正像差不需要交换标准样品也可以快速精确地校正至高阶像差。与采用传统校正算法的系统相比,CMSMO™能够高速处理数据,并且使操作进一步自动化。因此,客户在工作流程中可以简便高效地进行高分辨率观察及各种元素分析。

◇新ABF(Annular Bright Field)检测器系统

ABF检测器作为高分辨观察轻元素的有效手段已被广泛使用。“NEOARM”支持能增强轻元素衬度的新ABF成像技术(e-ABF:enhanced ABF),实现了对含有轻元素样品的原子级结构的观察。

◇Perfect sight检测器

STEM系统标配的Perfect sight检测器作为混合检测器,采用了由不同材料制成的闪烁器。该检测器具有极佳的宽电压适应性,不依赖于加速电压始终都可以获得高衬度的STEM图像,并可用于定量STEM的分析研究工作。

◇Viewing Camera系统

“NEOARM”标配的Viewing Camera系统是以远程操控为前提而设计的利用双相机观察图像的系统。此系统允许主机房和操作间分离,因此能够灵活地安排操作环境。电镜主机采用的纯白色和银色在室内协调美观,外观设计精炼简洁。


技术参数:

分辨率*1

STEM HAADF 图像: 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV)
TEM 信息分辨率: 100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)、250 pm (30 kV)

电子枪

标配冷场电子枪

球差校正器

STEM: NEO ASCOR HOAC*2、TEM: CETCOR with DSS*3

校正器自动合轴系统

日本电子NEO JEOL COSMO™ 自动合轴系统、Ad-hock合轴(SIAM)

加速电压

30~200 kV(标配30、80、200 kV;选配60、120 kV)

无磁场模式

标配洛伦兹模式、放大倍数( ×50~80 k荧光屏为参考面)

样品移动系统

X,Y,Z 轴高精度机械驱动、标配超高精度压电陶瓷驱动

操作类型

RDS*4 操作模式*4

*1 装配UHR(超高分辨率)极靴与STEM/TEM球差校正器
*2 HOAC(高阶球差校正器)
*3 DSS(DeScan系统)
*4 RDS(安装室分隔式)