广受好评的7610F的光学系统经过改进，实现了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的进一步提升，以崭新的7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。主要特点如下：
◇半浸没式物镜
半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以获得超高分辨率。
◇High Power Optics
High Power Optics 是独特的电子光学系统，既实现了高倍率观察又能进行多种分析。
浸没式肖特基场发射电子枪，可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪（FEG）的探针电流，最佳光阑角控制镜（ALC）在探针电流增大时也能保持小束斑，两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统，从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物镜光阑而不需要改换。
浸没式肖特基场发射电子枪銃
浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合，可以有效地收集从电子枪内发射的电子。
最佳光阑角控制镜（ACL）
最佳光阑角控制镜（ACL）配置在物镜的上方，在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此，即使照射样品的探针电流很大，与传统方式相比，也能获得很小的电子束斑。
即使探针电流很大，束斑直径也很小
长时间分析时稳定度也很高
◇
柔和电子束（GB:GENTLEBEAMTM）模式
GB 模式的效果
GB 模式在低电压下提高分辨率
左图一般模式，右图GB模式
增强了的低加速电压下的分辨率
◇r-过滤器
◇LABE检测器（选配件）
利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像
◇扩展性
能谱仪（EDS）
波谱仪（WDS）
阴极荧光系统（CL）
技术参数：
二次电子像分辨率 | 0.8 nm（加速电压 15 kV），1.0 nm（加速电压 1 kV ）
分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA ) |
倍率 | Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm）
Display magnification: x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels） |
加速电压 | 0.1 ～ 30 kV |
探针电流 | 数 pA ～ 200 nA |
电子枪 | 浸没式肖特基场发射电子枪 |
透镜系统 | 聚光镜（CL）、最佳光阑角控制镜（ACL）、半浸没式物镜（OL） |
样品台 | 全对中测角样品台、5轴马达驱动 |
电子检测器系列 | 高位检测器、r‐过滤器 内置、低位检测器 |
自动功能 | 自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节 |
图像观察用（液晶显示器） | 屏幕尺寸 23英寸宽屏 最大分辨率 1,920 × 1,080像素 |
抽真空系统 | 电子枪室／中间室 SIP 离子泵 样品室 TMP 分子泵 |
