EXM100系列台式闪测仪EXW卧式闪测仪EX系列闪测仪EXM190系列光学快速测量仪EXC拼接系列光学快速测量仪EXC 4030 拼接 光学快速测量仪大视野一键式测量仪智能一键闪测仪3D扫描仪EXCELLENCE  M手动系列EXCELLENCE M手动大行程系列EXCELLENCE CNC 自动系列EXCELLENCE 3020CNC  自动测量影像仪EXCELLENCE  HG 龙门式系列EXCELLENCE  HG762 龙门自动影像仪EXCELLENCE TNC塔吊式自动影像仪二次元影像仪EXP50光学轴类测量仪EXP80光学轴类测量仪光学轴类测量仪正置金相显微镜OP-40M研究级金相显微镜OP-50M正置金相显微镜MX-100正置金相显微镜MX-200倒置金相显微镜OPT-40M倒置金相显微镜OPT-20M半导体检查显微镜MX-3000单筒金相显微镜TJ-5000T金相显微镜超景深3D测量显微镜工具显微镜刀具测量系统自动端子切面分析仪一体式粗糙度轮廓仪MMD-HPG2000SV粗糙度轮廓仪MMD-HPG150粗糙度轮廓仪MMD-HPG120粗糙度轮廓仪MMD-HPG100H粗糙度轮廓仪MMD-HPG100F粗糙度轮廓仪MMI-200D一体式粗糙度轮廓仪TJ-LK-5C/6C粗糙度轮廓仪粗糙度轮廓仪螺纹测量仪粗糙度仪MMD-PG100/150PG轴承专用型轮廓仪MMD-R100系列轮廓仪MMD-R120/150轮廓仪MMD-R220/R320轮廓仪MMD-100A/100B轮廓仪MMD-120A/120B轮廓仪MMD-150A/150B轮廓仪MMD-220A/220B轮廓仪轮廓仪DTP-4000B 圆度仪DTP-4000A 圆度仪DTP-3000B 圆度仪DTP-3000A 圆度仪DTP-1000AE/1000B 圆度仪DTP-550A/550B 圆度仪DTP-7000 圆度仪DTP-6000 圆度仪DTP-5000B 圆度仪DTP-5000A 圆度仪DTP-1000CE 圆度仪DTP-1000D 圆度仪DTP-2000C 圆度仪DTP-2000D 圆度仪圆度仪CA35/65/95/125CNC系列圆柱度仪CA20/25 圆柱度仪CA30H/60H 圆柱度仪CA35/CA65 圆柱度仪CA90/CA95 圆柱度仪CA120/125 圆柱度仪圆柱度仪L-1000 手动型凸轮轴测量仪L-2000 手动型凸轮轴测量仪L-1000 全自动(CNC)凸轮轴测量仪L-2000 全自动(CNC)凸轮轴测量仪CV-500 活塞形线仪凸轮轴测量仪OLYMPUS CIX100清洁度检测系统OLYMPUS BX53M清洁度检测系统清洁度检测系统(高倍型)清洁度检测系统(低倍型)清洁度升级改造清洁度检测系统全自动清洁度颗粒萃取设备OPTICIAN-PA自动清洗检测制样设备半自动清洁度颗粒萃取设备OPTICIAN PU02双工位清洁度颗粒萃取设备手动清洁度颗粒萃取设备清洁度颗粒萃取设备清洁度实验室规划德国PFINDER清洗剂清洁度实验耗材机器视觉检测方案光学在线自动化检测系统
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电镜能谱一体机


电镜能谱一体机是终极的集成化成像分析系统,分辨率提升20%,进一步增加应用范围,更加适用于对电子束敏感的样品。借助该系统,既可观察样品的表面形貌,又可分析其元素组分。

研究样品时,得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器,电镜能谱一体机可以完善解决上述所有问题。

能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在电镜能谱一体机系统中。

软件可以使用户实现多点分析,检测样品的元素组分。此外,该软件还可以扩展到元素分析线面扫功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

规格参数


Phenom Pro

Phenom ProX


Phenom XL


光学放大

20 - 135 X

20 - 135 X

3 - 16 X

电子光学放大

80 - 150,000 X

80 - 150,000 X

80 - 100,000 X

分辨率

优于 8 nm

优于 8 nm

优于 14 nm

数字放大

Max. 12 X

Max. 12 X

Max. 12 X

光学导航相机

彩色

彩色

彩色

加速电压

5 kV
- 15 kV
连续可调

5 kV
- 15 kV
连续可调

5 kV
- 20 kV
连续可调

真空模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高分辨率模式

降低荷电效应模式

高真空模式

探测器

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)

背散射电子探测器

二次电子探测器 (选配)


软件
拓展软件平台
拓展软件平台
孔径统计分析测量系统
孔径统计分析测量系统
颗粒统计分析测量系统
颗粒统计分析测量系统
3D 粗糙度重建系统
3D 粗糙度重建系统
纤维统计分析测量系统
纤维统计分析测量系统
编程接口
编程接口