探知未来
扫描探针显微镜(SPM)是在样品表面用微小的探针进行扫描，通过高倍率观察三维形貌和局部物理特性的显微镜总称。SPM-9700更是性能高、速度快、操作简单的新一代扫描探针显微镜。
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样品交换时也可保持激光稳定照射悬臂。照射稳定性优异，分析时间也大幅度缩短。 |
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可从不同角度放大拉伸图像进行确认。鼠标操作简单，更可进行3D断面形状分析。 |
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按照操作指南指导操作顺序，使用导航功能直接锁定观察位置，实现了SPM的快速简便的观察 |
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具备丰富的测定模式和优异的扩展性，可对不同硬度、不同导电性能等各式样品进行观察分析。 |
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 控制气氛扫描探针显微镜 WET-SPM
可以控制样品和周边环境，在可控气氛下进行样品处理，并直接进行SPM观察。
选配系统具有温度湿度控制单元、样品加热冷却单元、样品加热单元、吹起单元。 |
| 粒度分析软件
从图像数据中选取复数颗粒，对每一颗粒进行特征量的计算，并进行分析、显示，以及及进行统计处理。 
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超微小硬度计复合型SPM系统SPM+TriboScope（TriboScope为美国Hysitron公司产品） 可以进行极薄膜的硬度试验和压痕试验。
微小部热分析试验仪器复合型SPM系统 SPM+nano-TA2（nano-TA2为Anasys Instruments公司产品）可以进行样品表面的三维形貌观察和点的热分析。
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| 观察模式 | 标准 | 接触模式
动态模式
相位模式
水平力模式（LFM）
力调制模式
矢量扫描模式 | | 选购件 | 磁力（MFM）模式）
电流模式
表面电位（KFM）模式 | | 分辨率 | XY | 0.2 nm | | Z | 0.01 nm | | AFM头部 | 位移监测系统 | 光源/光杠杆/检测器 | | 光源 | 激光二极管（On/Off均可）
更换样品无需调整光路 | | 检测器 | 光敏二极管 | | 扫描器 | 驱动元件 | 管状压电元件 | 最大扫描范围
（X*Y*Z） | 30μm×30μm×5μm （标准）
125μm×125μm×7μm （选购）
55μm×55μm×13μm （选购）
2.5μm×2.5μm×0.3μm （选购） | | 样品台 | 最大样品形状 | φ24mm×8mm | | 样品装载方式 | 头部滑动机构
悬臂安装状态下可直接装载样品 | | 样品固定方式 | 磁性固定 | | Z轴驱动机构 | 驱近方式 | 全自动驱近 | | 最大可驱近范围 | 10mm | | 信号显示板 | 显示量 | 检测器的总入射光量（数字显示） | | 减震机构 | 减震台 | SPM单元内置 | | 光学显微镜观察 | 方式 | 分束器滑动机构 | | 专用风挡 | 方式 | 无需或者使用气氛控制腔体 | | 气氛控制 | 方式 | 无需改造SPM单元可直接导入气氛腔体 |
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头部滑动机构 高稳定性&高速分析处理 |
光杠杆系统和悬臂合为一体的头部机构，仅通过整体滑动设置即可实现样品更换。激光连续照射，维持高稳定性。无需调整光轴中断激光照射，从而缩短分析时间。 |
 | 高稳定性
维持高刚性，光杠杆系统可作为一体滑动 高速分析处理
维持高刚性，成功地开放了样品周围的空间 |
高稳定性
·样品交换式也可保持激光稳定照射悬臂
·不受震动、声音和外界影响，无需专门的风挡
·内置减震器 |
SPM-9700 高稳定性的秘诀
维持高稳定性的构造 –不同激光照射方式下的稳定性比较- |
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高速分析处理
·无需拆除悬臂架即可进行样品交换。
·在SPM观测时，也可接触样品。
·无论样品的厚薄，可自动驱近到最适宜的观测位置。 |
SPM-9700 高速分析处理的秘诀
优异的操作性能 -样品更换的分析处理比较- |
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SPM-9700仅用鼠标即可实现旋转、放大缩小、Z轴倍率的自由变化，调节图像角度和倍率。更有将高度信息和其他物理信息重合显示的质感功能和3D断面形状分析功能，由此实现高度分析，提高图像确认的效率。 |
鼠标操作即可实现丰富的3D图像显示 |
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放大缩小
| 旋转
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Z轴倍率变化
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质感功能
能够将高度信息和其它的物理性信息重合显示。两者关系也可明确显示。 |
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3D断面形状分析
能够在3D显示时进行断面形状分析。质感功能显示物理性信息时，也可在同一位置分别显示各种各样的断面形状，并进行分析。 |
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从观察到分析实现无拘无束的可操作性 |
从在线观察到离线分析采用无界限约束的新界面（GUI）设计，实现了从观察操作到观察位置、结果分析的简单便捷操作。 |
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操作简单明确
从启动到观察、分析，均无复杂的设定，轻松点击鼠标即可进行操作。
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在管理画面上选择观察模式。
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按照操作指南的步骤进行操作，即可轻松完成。
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单击“开始观察”的按键，从驱近样品表面到进行分析全过程实现自动。
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无需切换至在线状态，即可对之前获取的图像进行确认。
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通过丰富的图像显示、处理、分析功能，尽显完美的观察结果，并可进行定量分析显示。
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观察位置简单明确
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最多可同时显示8组画面，可以实时对形貌和无形等多组图像进行比较。 |
可以在一个以观察的较大的区域，通过自由导航功能引导进一步观察任何一个指定的特定区域。已保存的图像数据也可作为参照表示 。 |
观察结果简单明确
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可以边观察边在在线画面上测定断面形状。 |
能够将之前的图像数据与观察中的图像数据同时显示比较。 |
丰富的扫描功能
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通过观察到的图像数据的个点测定力曲线，能够观察出样品的机械特性和吸着力的分布。 |
可以针对样品的扫描方向、探针与样品间力、加载电压进行编程，并按设定要求进行观察。 |
SPM的介绍
WET-SPM系列 选购件 |
| 温度湿度控制单元 ｜ 吹起单元 ｜ 样品加热冷却单元 ｜ 样品加热单元 ｜ 光照单元 |
温度湿度控制单元 |
| 可以安装在气氛控制腔体内，对腔体内的温度和湿度进行控制。
气体湿度控制器 |
FC膜的环境温度 湿度控制
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低温 |
高温 |
| 可以观察到湿度变化能够引起树脂膜表面的形状变化。均为数nm程度的细微形状变化，湿度升高时出现均匀隆起，表面膨胀。 |
高分子膜
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低温 |
高温 |
通过气氛温度湿度的控制可以捕捉到高分子膜的形状变化。 |
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吹起单元
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| 安装备用孔，对样品进行微量吹气。 |
镍表面的实时变化
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对还原后的清洁表面（左）开始吹一氧化碳时，观察到由于羰基络合物的形成产生的形态变化（右）。 （日本物质工学工业技术研究所（当时）提供） |
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样品加热冷却单元
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| 放置好样品后，能够对样品进行加热或冷却。
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| 树脂 冷却观察 |
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在粘性像中，可以观察到有差异的两相。 |
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冷却至-30°C |
冷却后，粘弹性的差异消失。 |
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样品加热单元
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| 放置样品，对样品进行加热。
大气状态下也可使用。 |
聚合物膜的加热观察
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30°C |
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50°C |
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光照单元
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| 可以在样品表面照射光纤灯的光。
不包含光源和光线灯。在大气环境中同样适用。 |
SrTiO3上并五苯薄膜进行紫外光照射观察
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并五苯薄膜一层为1.6nm，2～3层将会形成簇状。用波长为365nm的紫外光照射时簇状会逐渐散开，40分钟后簇状薄膜基本消失。这期间几乎没有任何图像飘移，可以在同一视野范围内进行观察。 |
