半导体检查显微镜|上海拓精科技有限公司

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半导体检查显微镜MX-3000

全新的MX-3000半导体检查显微镜，支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查，含 4、6、8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升，为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。

仰角可调观察筒
0-35°观察角度可调，适合不同身高的用户，降低了对工作环境的要求，让不同的使用者都能找到最佳的观察角度，减轻了长时间工作带来的不适与疲劳，大幅度提高工作效率。

全新离合驱动式载物台
MX-3000采用离合式手柄，用户按下离合扳手就可灵活移动平台，无需长时间捏紧手柄；按下离合按钮，取消快速移动。避免长时间操作出现手麻现象，并加快观察速度。 MX-3000 引入精密导轨传动机构，移动更轻更顺畅，产品更加稳定可靠。

安全、高速的电动式物镜转换器
设有前进、后退两档切换模式，可快速、精确定位到所需要的观察倍率，重复定位精度高。机械式的切换模式，有效提升了转换器的使用寿命。

按键触手可及，助您提高工作效率
MX-3000 物镜与孔径光阑采用全新的电动控制系统，其操作按键位于仪器正前方，让您触手可及。人性化的电动设计不仅避免了频繁的手动操作步骤，也使您的检测工作也更加精确、灵活。

防震支架设计
机身由六端支架支撑，低重心、高稳定性全金属机架，具备强效的抗震功能，确保像质稳定。

丰富的应用领域
MX-3000集成了明场、暗场、偏光、DIC 等多种观察功能。广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件金属陶瓷部件、精密磨具等检测。

技术参数

光学系统	无限远色差校正光学系统
观察方式	明场/暗场/偏光/DIC
观察筒	无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节 :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100
目镜	高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm，视度可调，可带单刻度十字分划版
物镜	无限远明暗场半复消金相 DIC 物镜 5X 10X 20X 50X 100X
	无限远长工作距明暗场半复消金相 DIC 物镜 20X
	无限远长工作距明暗场半复消金相物镜 50X 100X
转换器	明暗场六孔电动转换器，带 DIC 插槽
机架组	反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm，微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统
机架组	透反机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 35mm，微调精度 0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统
载物台	右手位 14×12 英寸三层机械移动平台，低手位 X、Y 方向同轴调节；平台面积 718mmX420mm，移动范围：356mmX305mm
载物台	带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；玻璃载物台板 ( 反射用）
电动平台	面积 495mmX641mm，移动范围：306mmX306mm ；软件控制 X、Y 移动，重复定位精度，（3+L/50）μm 带平板平台
照明系统	明暗场反射照明器 , 带可变电动孔径光阑，视场光阑 , 中心均可调；带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏光装置插槽
摄影摄像附件	0.5X/0.65X/1X 摄像接筒，C 型接口，可调焦
其他	起偏镜插板，固定式检偏镜插板，反射用干涉滤色片组；高精度测微尺；DIC 组件